简单介绍一下双极工艺，
双极晶体管制造工艺流程
(以NPN管为例)
制
造
流
程
芯片制造
封装
衬底制造
管芯制造
衬
底
制
备
三重扩散
磨抛
N+予扩
N+氧化
N+主扩
N-
N-
N+
N+
氧
化
层
三重扩散
磷
源
磨片
抛光
N-
N+
N-
N+
磨抛
45%6EFGH1
管芯制造:
基区制造发射区制造终端保护
引线孔制造正面电极制备背面电极制备
中测裂片
硼预扩
硼主扩
硼氧化
N-
N+
硼源涂布
N-
N+
P-
氧化层
基区制造
磷预扩
磷主扩
N-
N+
P-
N+
N-
N+
P-N+
磷源
发射区制造:
N-
N+
N+
P-
N-
N+
N+
P-
玻璃粉
终端保护:
台面腐蚀
玻璃电泳
N-
N+
N+
P-
引线孔制造:
引线孔光刻
发射区引线孔基区引线孔
正面蒸铝
N-
N+
P-N+
N-
N+
P-N+
Al
正面电极制备:
光刻铝,铝合金
发射区铝电极基区区铝电极
N-
N+
P-N+
N-
N+
P-N+
背面电极制备:
背面蒸金
黄金
N-
N+
P-N+
裂片:
裂片
裂缝
$0%&GH1
芯
片
封
装
粘片
键合
塑封
电镀
切筋
测试