以下是笔者猜测的用在iPhone4 中的三轴MEMS陀螺仪。具体参数以后再详细介绍。感兴趣的读者也可以顺藤摸瓜，自己找到一些有用的资料。
图一、三轴MEMS陀螺仪的方框图。
图二、三轴陀螺仪MEMS结构。从左到右分别是X, Y和Z轴，它们设计在一个晶片上，同时用微机械技术加工出来。
图三、三轴陀螺仪MEMS细致结构。
图四、三轴MEMS陀螺仪的封装图。ASIC晶片和盖子晶片上都先挖好坑，然后把MEMS晶片夹在它们之间，引线大多从ASIC上出来。
以下是笔者猜测的用在iPhone4 中的三轴MEMS陀螺仪。具体参数以后再详细介绍。感兴趣的读者也可以顺藤摸瓜，自己找到一些有用的资料。
图一、三轴MEMS陀螺仪的方框图。
图二、三轴陀螺仪MEMS结构。从左到右分别是X, Y和Z轴，它们设计在一个晶片上，同时用微机械技术加工出来。
图三、三轴陀螺仪MEMS细致结构。
图四、三轴MEMS陀螺仪的封装图。ASIC晶片和盖子晶片上都先挖好坑，然后把MEMS晶片夹在它们之间，引线大多从ASIC上出来。