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Presseinformation 7/2012
Keithley erweitert Messmöglichkeit der Parameter-Testsysteme der Serie S530
Cleveland, Ohio, 29. März 2012 * * * Keithley Instruments, Inc., ein weltweit führender Anbieter von elektrischen Testinstrumenten und Systemen, hat die Funktionalität seiner S530 Parameter-Testsysteme deutlich erweitert. Die Geräte der Serie S530 gehören zu den kostengünstigsten Lösungen für einen schnellen Parameter-Test von Halbleitern in der Produktion. In Verbindung mit der neuesten Version der Keithley Test Environment Software (KTE V5.4) kann das S530 jetzt mit einer 48-poligen Kelvin-Schaltfunktion sowie mit neuen integrierten Optionen zur Pulsgenerierung, die Frequenz-Messung und die Messung von Spannungen konfiguriert werden. Durch diese neuen Messmöglichkeiten wird der Anwendungsbereich der sehr schnellen, kostengünstigen S530 Systeme für den Parameter-Test in der Produktion erweitert.
48-polige Kelvin-Schaltkonfiguration
Das S530 Low Current System nutzt eine leistungsfähige Schaltmatrix, um die Signale zwischen den Instrumenten und den Testpins zu verschalten. Dies ermöglicht eine Messauflösung im Sub-Picoampere-Bereich und ein Guarding für kleinste Ströme bis hin zum Probe-Pin. Die neusten Erweiterungen des Systems unterstützen jetzt eine 48-polige Kelvin-Schaltkonfiguration (4-Draht), wodurch nun doppelt so viele Kelvin-Pins verfügbar sind. Durch die Verschaltung und Verkabelung über Kelvin-Verbindungen lässt sich so eine hohe Signalintegrität gewährleisten. Die Verdopplung der maximalen Pin-Anzahl des Systems erhöht zudem die Konfigurationsflexibilität des S530, so dass auch künftig durch sehr schnelle und präzise Messungen eine umfassende Testabdeckung sichergestellt werden kann.
Optionale Ringoszillator-Messmöglichkeit
Die neue sehr schnelle, hochauflösende Oszilloskop-Option unterstützt den Test von Rin-goszillatoren über einen breiten Frequenzmessbereich. Diese neue Systemoption erlaubt Messungen von ungefähr 10kHz bis 20MHz mit einer Abtastrate von bis 400 Megasamp-les/s. Die Frequenzmessmöglichkeit innerhalb des parametrischen Testsystems wird im-mer wichtiger, da eine steigende Zahl von Halbleiter-Fabs Ringoszillatoren zur Prozess-überwachung in ihre Teststrukturen einbaut.
Optionale Pulsgenerierung
Da mehr und mehr integrierte Schaltungen embedded Speicher enthalten, wie Flash, stat-ten die Halbleiter-Fabs ihre Prozessüberwachungsroutinen immer häufiger mit entspre-chenden Strukturen und Messmöglichkeiten für Speicher aus. Der Test dieser Bauteile erfordert die Einspeisung spezieller Spannungspulse, um die Speicherzellen zu program-mieren und zu löschen sowie die anschließende Durchführung genauer DC-Messungen. Hierzu nutzt das S530 das gleiche Sub-Systemchassis das derzeit das Kapazität-Spannungs-Instrument (C-V) enthält. Es kann mit zwei, vier oder sechs Kanälen zur Puls-generierung ausgestattet werden und unterschiedlichste Signale für den Bauteiltest er-zeugen. Insgesamt wird somit die Systemflexibilität erhöht.
Optionales System-DMM
Der Test von van-der-Pauw- und Metall-Strukturen im Zuge der Prozessüberwachung erfordert eine Messung von kleinen Spannungen mit hoher Messauflösung und ausge-zeichneter Reproduzierbarkeit. Für diese Anwendungen lassen sich die S530 Systeme jetzt mit einem optionalen 7 1/2-stelligen, rauscharmen Digitalmultimeter ausstatten, das speziell für die Messung von kleinen Spannungen optimiert wurde. Es bietet eine Auflö-sung von 10nV im niedrigsten Bereich (100mV) und eine Auflösung von 100nV im nächs-ten höheren (1V) Bereich. Zudem zeichnet es sich durch eine DC-Spannungsreproduzierbarkeit von 7 ppm aus.
Systeme für kleine Ströme oder hohe Spannungen
Das S530 System ist in zwei unterschiedlichen Konfigurationen verfügbar: Das S530 Low Current System wurde für die Charakterisierung von Parametern, wie Subthreshold Leakage, Gate-Leckstrom etc. entwickelt. Das S530 High Voltage System enthält eine Source-Measure Unit (SMU) zur Einspeisung von Spannungen bis zu 1000V bei 20mA (20W max.) auf jeden beliebigen System-Pin. Diese Version wurde für komplexe Durch-bruch- und Leckstromtests bei GaN, SiC und Si-LDMOS-Leistungsbauteilen optimiert. Während die neue 48-polige Kelvin-Schaltfunktion nur für das Low Current System ver-fügbar ist, sind alle anderen neuen Messoptionen für beide Systemvarianten erhältlich.
Weitere Informationen
Weitere Informationen erhalten Sie unter: http://www.keithley.com/products/semiconductor/parametrictestsys/
oder direkt vom Un-ternehmens unter: www.keithley.com.
Über Keithley
Mit einer Messtechnikerfahrung von mehr als 60 Jahren gehört Keithley Instruments zu den weltweit führenden Unternehmen für elektrische Testinstrumente und -systeme von DC bis RF. Die Produkte des Unternehmens werden in der Produktion, Prozessüberwachung, Produktentwicklung und Forschung eingesetzt. Zu den Kunden des Unternehmens gehören Wissenschaftler und Ingenieure in der weltweiten Elektronikindustrie, die sich mit Materialforschung, der Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und Wafern sowie der Produktion von Endprodukten wie elektronischen Baugruppen oder portablen drahtlosen Geräten befassen. Keithley bietet seinen Kunden eine Kombination aus Präzisionsmesstechnik und umfassender Anwendungserfahrungen, die Qualität, Durchsatz und Fertigungsausbeute verbessern können. Seit 2010 gehört Keithley Instruments zum Test- und Messtechnik-Bereich von Tektronix.
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